特气柜的重要组成部分

特气柜是指主要用于供应特种气体的柜子,气体一般有易燃,易爆,剧毒等特性。主要用于半导体和LED的新兴行业,特气柜由下面几个部件组成:

1. 气动阀气源:一般以GN2来进行控制,不建议使用CDA(clean dry air),因GN2的供应系统比较稳定,不会因停电或运转设备故障而中断,此气源是用于自动或半自动的气动阀件开关。

2. 手动控制阀:主要用于第二道防护作为第二次确认用或检修,一般于供应气体的出口端。

3. 逆止阀(单向阀):防止特气倒灌到清洁用的PN2(高纯氮)系统和抽气用的GN2(普氮)系统。

4. 调压阀:用于调整供应系统的供应压力。

5. 压力传感器:是防护系统中非常重要的零件,透过它我们可以判断管路是否泄漏,相关阀件是否正???,同时亦可检知钢瓶的剩余量。

6. 真空产生器:利用GN2快速流动产生吸力,将管路中的气体抽出,以到达抽气的目的。

7. 气体过滤器:一般在钢瓶出口端会装比较粗的过滤器,在出端会装比较细的过滤器,有效过滤气体中的颗粒,过滤器较不易吹扫,所以一般不建议装在常吹扫的管路中。

8. 过流量侦测器:对管路异常流量进行侦测,若是超过设定值,即判断管路上可能大量泄漏,进而关闭供应系统停止供气。

9.限流孔:是一种简易又有效的过流量控制装置,用以限制大量气体流过,一般适用于出口处,其主要功用是避免大量的特殊气体排出,区域性的废气处理机无法处理的情况发生。

其中:对于特气柜里重要的仪器仪表组成部分,压力表和压力传感器质量的好坏,对设备正常运行、数据采集起到了决定性的作用。长野计器(NKS)生产的压力表压力传感器GW系列和ZT系列就是为半导体特气柜量身定做的产品,长野计器的产品具有响应速度快,信号采集输出稳定,安全可靠。产品在市场中名列前茅,收到了客户的一致认可。

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